等离子清洗的应用与技术研究

• 作者: 张塍
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 清洗技术 半导体 研究
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 专题报道(清洗技术)
• 页码范围: 21-27
• 页数: 7页
• 分类号: TN3
• 字数: 7774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.06.007

摘要

对等离子清洗技术在半导体方面的应用做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子技术的基本概念、设备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在半导体清洗中的应用及其注意事项.