MEMSic加速度传感器在气体微流量检测中的应用

• 作者: 林引 谢昭莉 陈皎
• 来源期刊: 自动化信息
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微流量 补偿 灵敏度 稳定性
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: TP212

摘要

根据MEMSic（微电子机械系统集成芯片）加速度传感器的工作原理及特点，将其应用于气体微流量检测中。经过具体实验验证，在不同温度下，采取一定的温度补偿措施，在气体流量从0到50sccm的变化范围内，MEMSic加速度传感器能够精确地测量出变化，说明了MEMSic加速度传感器对徽流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢昭莉	重庆大学自动化学院	33	265	8.0	15.0
2	林引	重庆大学自动化学院	2	8	1.0	2.0
3	陈皎	重庆大学自动化学院	3	10	2.0	3.0