新型表面波等离子体源的诊断及不同工艺条件下的等离子体特性

• 作者: 上坂裕之 刁东风 徐均琪 梅原德次
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面波等离子体 工艺参数 电子密度 类金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 214-218
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5|O434.14|O453.6
• 字数: 3847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.013

摘要

表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体.应用这种技术,很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积(IBAD),从而制备出性能优异的类金刚石薄膜(DLC).本文介绍了一种新型的SWP源,说明了朗缪尔探针等离子体诊断的基本原理,研究了微波功率、靶电压、真空度等对等离子体特性的影响.测试了不同工艺条件下的等离子体密度,电子温度,等离子体电位,悬浮电位.研究结果表明,微波功率、靶电压和真空度等参数对等离子体特性具有重要的影响.结果同时表明,这种表面波等离子体源即使在0.85 Pa的真空度下也能够产生高达1.87×1011 cm-3的电子密度(在2.8 Pa可达2.1×1012cm-3).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
5	刁东风		12	36	4.0	5.0