机械刻划长焦距凹面金属光栅的研制

• 作者: 巴音贺希格 高键翔 齐向东
• 来源期刊: 光学 精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 红外激光 凹面光栅 光栅刻划刀 刀架结构
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 391-395
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.03.010

摘要

对大曲率半径(即长焦距)金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究.为了刻制长焦距凹面光栅,设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架,它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的双重功能.给出了描述光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径与凹面光栅曲率半径、光栅口径、金刚石刀头横向尺寸之间关系的数学表达式,理论分析了光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径的取值范围,研制了10.6μm激光系统用曲率半径为30 m的凹面金属光栅.检验结果表明,光栅的槽形质量较好,光栅的衍射效率可达96.8%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
3	高键翔	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	79	5.0	6.0