基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析

• 作者: 安鹏 张承亮 苑伟政
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 质点振速水听器 加速度计
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 声微纳器件与技术
• 页码范围: 2286-2289
• 页数: 4页
• 分类号: TB56
• 字数: 2402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.258

摘要

对基于惯性传感器的同振球型振速水听器的工作原理进行了说明.采用多端口组件网络方法建立了用于振速水听器的梳齿式硅微机械加速度计的系统级模型.对内置加速度计,外部采用弹性连接的振速水听器在平面声波作用下的响应进行了仿真分析.分析结果表明,振速水听器不失真测量的工作带宽取决于其与水介质的密度比、波尺寸、与弹性连接构成振动系统以及加速度计自身振动系统的特性参数.多端口组件网络方法能够有效地实现振速水听器的建模与仿真.