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CN1718852适用SAW器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途
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摘要：
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金刚石工具制作方法对金刚石性能的影响
制作方法
金刚石性能
冲击强度
纳米金刚石颗粒粒度的测量
纳米金刚石
粒度
测量
纳米金刚石的熔点和德拜特征温度
熔点
德拜特征温度
纳米金刚石
衍射强度
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2006(0)
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- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
纳米金刚石膜
SAW器件
制备方法
用途
适用
纳米金刚石薄膜
声表面波（SAW）
SAW滤波器
化学气相沉积法
择优取向
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
主办单位：
全国磨料磨具行业情报网
郑州磨料磨具削研究所
中国机床工具工业协会超硬材料分会
中国机床工具工业协会磨料磨具分会
中国机床工具工业协会涂附磨具分会
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
河南省郑州市华山路121号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
5059
总下载数（次）
9
总被引数（次）
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