晶体硅扩散层有效杂质的浓度分布

• 作者: 刘祖明 屈盛 廖华 陈庭金
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有效杂质浓度分布 迁移率 分段函数
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 295-299
• 页数: 5页
• 分类号: TK51
• 字数: 2297字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2006.03.016

摘要

在求解半导体扩散层中有效杂质浓度分布时,如果将半导体的载流子迁移率μ当作常数,所得的结果与实际分布有较大的出入.为了将迁移率的变化考虑到计算中,提出一个分段函数对n型硅的迁移率实验曲线进行拟合.考虑载流子迁移率μ的分布后,实验求得的分布曲线与实际分布更加接近了.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈庭金	云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室	42	351	10.0	17.0
2	刘祖明	云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室	60	483	12.0	20.0
3	廖华	云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室	46	298	9.0	15.0
4	屈盛	云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室	4	31	2.0	4.0