梳齿谐振器宏模型的系统级应用

• 作者: 吕湘连 常洪龙 李俊 李晓莹 闫子建
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 宏模型 VHDL-AMS MEMS 系统级 可重用IP
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1340-1343
• 页数: 4页
• 分类号: TN7
• 字数: 2178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.008

摘要

宏模型的获取是由Krylov子空间投影法结合器件级有限元分析的宏建模方法来实现,利用此模型和基于可重用IP设计思想的系统级组件建模方法建立由VHDL-AMS语言描述的梳齿谐振器系统级模型,在华大VDE仿真平台上搭建出了梳齿谐振器的系统模型,并进行一系列的仿真,包括时域阶跃、交流电压信号仿真和频域交流小信号仿真,仿真结果与商用仿真工具ANSYS仿真结果保持良好的一致.