溶胶-凝胶法制备Sm2O3光学薄膜

• 作者: 吴建鹏 曹丽云 贺导艳 贺海燕 黄剑锋 黄艳
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钐 光学薄膜 溶胶-凝胶法 显微结构 结晶定向
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 页码范围: 1341-1344
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2006.11.010

摘要

以氯化钐为起始原料,采用溶胶-凝胶法在玻璃和Si(100)基板上制备了Sm2O3光学薄膜,在300～800℃对薄膜进行1～3 h热处理.采用X射线衍射、原子力显微镜和紫外-可见自记式分光光度计等对薄膜的结晶取向、显微结构和光学性能进行了表征.结果表明:Sm2O3薄膜在玻璃基板和Si(100)基板上均表现出沿(311)晶面定向生长的特征;Si基板更有利于生长致密而且结晶良好的薄膜;所制备的薄膜对紫外线有强烈吸收作用,而对可见光有较好的透过作用,随着热处理温度的升高,薄膜结晶性变好,取向性增强,光吸收性能增强,薄膜的禁带宽度减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄剑锋	陕西科技大学材料科学与工程学院	271	1521	17.0	24.0
2	曹丽云	陕西科技大学材料科学与工程学院	224	1288	16.0	22.0
3	吴建鹏	陕西科技大学材料科学与工程学院	120	797	14.0	21.0
4	贺海燕	陕西科技大学材料科学与工程学院	51	374	10.0	16.0
5	黄艳	陕西科技大学材料科学与工程学院	8	64	5.0	8.0
6	贺导艳	陕西科技大学材料科学与工程学院	1	12	1.0	1.0