基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计

• 作者: 岳泉 张波 张诚 王金海 陈才和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏仪 消光法 虚拟仪器 Labview
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 432-435
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 3130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.02.041

摘要

介绍了一种基于Labview的消光式椭偏仪光学测量系统,用于进行透明薄膜厚度的精确测量.研究并推导出消光式椭偏仪光学系统的数学模型及椭偏参数的计算公式.在理论研究的基础上,基于虚拟仪器设计技术,开发了信号采集、传输电路和编写测量软件,设计了椭偏仪的自动控制测量系统.通过对SiO2薄膜的测试,验证了仪器具有良好的可靠性和重复性,薄膜厚度误差小于100 A,折射率误差小于0.01.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金海	天津工业大学信息与通信工程学院	106	543	11.0	17.0
3	张诚	天津工业大学信息与通信工程学院	41	185	8.0	10.0
6	陈才和		7	45	5.0	6.0
7	张波	天津工业大学信息与通信工程学院	9	58	5.0	7.0
8	岳泉	天津工业大学信息与通信工程学院	8	50	5.0	7.0