用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件的制作

• 作者: 姚欣 张怡霄 李剑峰 郭永康 高福华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 衍射光学元件 惯性约束聚变驱动器 光束采样光栅 色分离光栅
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 1461-1466
• 页数: 6页
• 分类号: TL632+.1
• 字数: 4682字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.11.005

摘要

针对惯性约束聚变(ICF)驱动系统特别是其终端光学系统对元件数和元件厚度的限制要求,利用衍射光学元件(DOE)易于集成的优点,提出一种在石英基片的两面分别曝光制作色分离光栅(CSG)和光束采样光栅(BSG)的新方法,仅需一个石英片即可同时实现谐波分离和光束采样的功能.分别采用光学制版和电子束直写的方法制作了色分离光栅和光束采样光栅的掩模,并利用离子束刻蚀的方法加工了色分离光栅-光束采样光栅集成元件.结果表明,此集成元件的三倍频光能量利用率、色分离度以及采样效率等参数均与三倍频光通过色分离光栅、光束采样光栅分离元件时得到的结果相吻合,达到了惯性约束聚变激光驱动器终端光学系统的基本技术指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李剑峰	四川大学物理系	12	60	5.0	6.0
2	郭永康	四川大学物理系	87	836	16.0	21.0
3	高福华	四川大学物理系	56	392	11.0	16.0
4	姚欣	四川大学物理系	15	85	6.0	8.0
5	张怡霄	四川大学物理系	27	205	9.0	12.0