改善AMR薄膜磁电阻传感器线性度的几种方法

• 作者: 王立锦
• 来源期刊: 北京科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属薄膜 各向异性磁电阻效应 传感器 线性度 微加工
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 冶金与材料
• 页码范围: 744-749
• 页数: 6页
• 分类号: TM93
• 字数: 3510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-053X.2006.08.008

摘要

在分析金属薄膜磁电阻传感器非线性产生原因的基础上,提出了几种设计AMR(各向异性磁电阻)薄膜磁电阻传感器时改善其线性度的方法.用直流磁控溅射方法制备了Ni80Fe20和Ni65Co35 AMR薄膜材料;用微加工工艺制做出了几种AMR传感器元件,并给出了测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立锦	北京科技大学材料科学与工程学院	25	208	9.0	14.0