“叉指”结构微加速度表的设计

• 作者: 何晓平
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 加速度表 设计 结构 静电伺服 飞行试验 全量程 重复性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 248-249
• 页数: 2页
• 分类号: V217

摘要

利用MEMS（Micro-electro—mechanical-system）技术，设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70～70g，全量程重复性1‰。微加速度表参与重大飞行试验获得了完整数据。