软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量

• 作者: 吴永刚 张莉 徐垚 曹鸿 焦宏飞 陈玲燕
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Zr X射线激光 滤光膜 透射率 直流磁控溅射
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 953-956
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3226字
• 语种: 中文

摘要

利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为200 μg·cm-2,直径为20 mm的自支撑金属Zr滤光膜.用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软X射线和可见光波段的透射率,用俄歇电子能谱(AES)分析了膜中的元素含量.结果表明:Zr膜在13.9 nm波长的透射率达19%, 对可见光的抑制性能达43 dB.杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软X射线光谱透射率的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈玲燕	同济大学精密光学工程技术研究所	60	522	13.0	19.0
2	吴永刚	同济大学精密光学工程技术研究所	53	242	9.0	13.0
3	曹鸿	同济大学精密光学工程技术研究所	10	27	3.0	4.0
4	张莉	同济大学精密光学工程技术研究所	56	473	9.0	20.0
5	焦宏飞	同济大学精密光学工程技术研究所	20	53	4.0	6.0
6	徐垚	同济大学精密光学工程技术研究所	4	23	3.0	4.0