光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究

• 作者: 刘晓旻 吴宇 张攀峰 杨国光
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光杠杆 纳米检测 位置敏感探测器(PSD) 微位移
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 969-973
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.5
• 字数: 3411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.08.016

摘要

提出了一种全新的nm级微位移测量方法,改进了传统光杠杆测微位移的原理,研究开发了一种激光微位移测量系统.该方法可以将微位移量放大102量级以上,测量系统的理论分辨率为4 nm、实测分辨率小于10 nm,实验验证了该系统的可行性和可靠性.该系统适用范围广、灵敏度高、重复性好和结构简单,便于构成微电机系统(MEMS),实现系统微型化及自动化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国光	浙江大学信息科学与工程学院	91	1226	21.0	30.0
2	刘晓旻	浙江大学信息科学与工程学院	5	57	4.0	5.0
3	吴宇	浙江大学信息科学与工程学院	7	216	6.0	7.0
4	张攀峰	浙江大学信息科学与工程学院	2	34	2.0	2.0