MEMS的微细加工技术

• 作者: 周建忠 戴亚春 王匀 马欣涛
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械 微成形 MEMS 光刻掩模 激光刻蚀 LIGA 激光加工技术
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 制造技术与装备
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2006.05.005

摘要

介绍了目前比较前沿的几种微型腔的机械加工方法:光刻掩模、高能束刻蚀(激光刻蚀)和LIGA技术等加工方法.对这些技术的发展趋势进行了展望.指出微器件的推广和应用,是和微器件的加工方法密不可分的,特别是随着激光加工技术在微机械加工领域的推广和应用,微器件的加工工艺水平和加工质量会有更大的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周建忠	江苏大学机械工程学院机制系	202	1969	25.0	33.0
2	王匀	江苏大学机械工程学院机制系	129	609	12.0	19.0
3	戴亚春	江苏大学机械工程学院机制系	32	259	9.0	14.0
4	马欣涛	江苏大学机械工程学院机制系	3	81	3.0	3.0