硅纳米梁的静态特性分析

• 作者: 于虹 鲍芳 黄庆安
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 应变能量 变分 重构、弛豫 弯曲
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1713-1716
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.106

摘要

提出了用于分析硅纳米梁静态弯曲的半连续体模型.与传统的连续体模型相比,该方法考虑了厚度方向进入纳米尺度所带来的物理特性的离散化现象.基于Sun-Zhang提出的应变能量计算模型,运用变分原理,推导出半连续体模型.从计算结果可以看出,几何尺寸和表面原子的重构、弛豫效应对梁的弯曲有一定影响.该模型分析梁的弯曲得到的结果与连续体模型相比偏小,随着尺寸的增大误差逐渐减小,在宏观尺寸下两种模型最终趋于一致.