Keating改良模型的硅纳米梁动态特性

• 作者: 于虹 张致彬 张鹏 陈宏博
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 半连续体理论 Keating势 表面弛豫 基频
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳研究与应用
• 页码范围: 255-258
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024149

摘要

提出一种用于分析硅纳米梁动态特性的改良型半连续体模型,对比传统的连续体理论,这种新模型使用了Keating势,并考虑了纳米梁在宽厚两个维度的分立特性.依据Sun-Zhang模型思想和能量守恒定律,建立了改良型Keating模型,并进行了双端固支梁的基频计算.在这个过程中,对一些表面效应也进行系统分析.结果表明,该改良模型一方面在纳米尺度下与Material StudioTM软件仿真结果较为符合,另一方面也能在微观尺度下较好的接近连续体模型的计算数据.同时,该模型还反映了基频随纳米梁宽度变化的特性,这也符合一些实际实验.