一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真

• 作者: 卢桂章 孙广毅 谭宜勇 赵新 金桐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容式微加速度计 虚拟工艺
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2177-2181,2185
• 页数: 6页
• 分类号: TH82
• 字数: 5449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.229

摘要

微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与信息自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与信息自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	孙广毅	南开大学机器人与信息自动化研究所	8	47	3.0	6.0
4	谭宜勇	南开大学机器人与信息自动化研究所	7	29	4.0	5.0
5	金桐	南开大学机器人与信息自动化研究所	2	13	2.0	2.0