基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展

• 作者: 丁建宁 杨继昌 王权 薛伟
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超微压压力传感器 微机电系统 无应力封装 综述
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 157-159
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2006.03.041

摘要

针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况,从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向,以及产业化存在的问题和相应的对策.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛伟	温州大学工业工程学院	66	591	13.0	20.0
2	丁建宁	江苏大学机械工程学院	146	769	14.0	19.0
3	杨继昌	江苏大学机械工程学院	108	1546	22.0	34.0
4	王权	江苏大学机械工程学院	31	183	8.0	11.0