基于自旋阀的GMR线性传感器的制作

• 作者: 任天令 刘华瑞 刘理天 刘鹏 李伟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自旋阀 巨磁电阻 线性传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 磁微纳器件与技术
• 页码范围: 2065-2067,2071
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.199

摘要

利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器,传感器矫顽力低于0.01Oe,具有良好的线性,电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关,随着条宽减小,传感器器的线性范围增加而灵敏度降低,实验和理论计算的结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	刘鹏	清华大学微电子学研究所	47	601	12.0	24.0
4	李伟	清华大学微电子学研究所	88	760	15.0	23.0
5	刘华瑞	清华大学微电子学研究所	12	15	2.0	3.0