一种大行程高精度微执行器的研究

• 作者: 卢泽生 姜文锐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 摩擦原理 压电陶瓷 大行程 高精度 微执行器 Karnopp模型
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1555-1558,1562
• 页数: 5页
• 分类号: TQ0
• 字数: 3183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.064

摘要

为了解决宏/微驱动系统中大行程和高精度之间的矛盾,研制了一种基于摩擦工作原理的压电陶瓷驱动的新型大行程、高分辨率步进式微执行器,该微执行器的行程为300mm、位移分辨率为0.02μm.提出了一种新型的基于压电陶瓷的柔性四杆型可调预压装置,并进行有限元分析.建立了微执行器系统的动力学模型,基于Karnopp"粘滞-滑移"摩擦模型分析微执行器力学特性.对微执行器的运动特性进行实验测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢泽生	哈尔滨工业大学机电工程学院	75	1304	20.0	32.0
2	姜文锐	哈尔滨工业大学机电工程学院	5	34	3.0	5.0