低气压容性射频放电中电流密度对鞘内离子能量通量的影响

• 作者: 丁玉成 李志刚
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频放电 等离子鞘 离子 能量通量 电流密度
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 电工电机
• 页码范围: 164-169
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 4078字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-8013.2006.05.028

摘要

研究了低气压容性射频放电电流密度与离子到达被加工材料表面的能量通量之间的关系.在Lieberman的射频鞘模型基础上,计算离子从等离子体内部到材料表面所经历的时间平均的总鞘电势差,发展了Lieberman的模型.并利用离子浓度和总鞘电势差的表达式推出到达材料表面时离子的能量通量与射频驱动电流密度的关系式.驱动电流密度对鞘内离子能量通量起激励作用:随驱动电流密度增加,离子能量通量单调增加.时间平均的鞘电势差与驱动电流密度的关系实验与理论模型进行了比较,结果呈现较好的吻合,为理论分析的正确性提供了证据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁玉成	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
2	李志刚	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	56	234	8.0	14.0