一种小型电容敏感式加速度计的研制

• 作者: 江世宇 王宏伟 腾功清 齐臣杰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 电容 铍青铜
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 275-278
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.087

摘要

利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计.设计了一种提取差动电容信号的检测电路.给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系.经过实验测试,加速度计的灵敏度大约为391.12 mV/(m·s-2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宏伟	北京信息科技大学理学院	48	134	6.0	10.0
2	腾功清	北京信息科技大学理学院	4	3	1.0	1.0
3	齐臣杰	北京信息科技大学理学院	14	37	3.0	6.0
4	江世宇	北京信息科技大学理学院	5	4	1.0	2.0