微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析

• 作者: 何晓平 何高法 刘世明 唐一科
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微杠杆 柔性铰链 加速度计
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1535-1538
• 页数: 4页
• 分类号: TN40|TP212.12
• 字数: 2696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.07.020

摘要

设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰链技术设计一种新型两级微杠杆放大机构,并建立了放大机构的力学和数学模型,在此基础上进行了解析法分析和参数优化设计;同时利用有限元分析方法对其进行了仿真计算.计算结果显示机构的放大倍数约为102倍.这一设计方案极大地提高了微加速度计的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐一科	重庆大学机械工程学院	74	745	14.0	23.0
5	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
6	何高法	重庆大学机械工程学院	8	46	4.0	6.0
8	刘世明	重庆科技学院机械系	5	47	4.0	5.0