热振动法标定微悬臂梁法向弹性系数

• 作者: 封玮 左燕生 林云生 韩立
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 原子力显微镜 热振动 弹性系数 标定
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TN16
• 字数: 2321字
• 语种: 中文

摘要

微机械加工制造的微悬臂梁(探针)作为原子力显微镜中的核心组件,已经成为微米纳米尺度下科学研究的重要工具.能否准确标定微悬臂的弹性系数将影响所测力学量的最终结果.介绍了利用热噪声法标定探针的方法,分析了热振动法的原理及其修正公式.通过改进AFM系统的光路和位移检测器的前置放大电路,提高了探针法向弹性系数标定方法的精度,并设计了升温装置,对热噪声法的校正公式进行了验证,结果表明,实验与理论公式可以比较好的吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	林云生	中国科学院电工研究所	21	148	8.0	11.0
3	左燕生	中国科学院电工研究所	8	72	6.0	8.0
4	封玮	中国科学院电工研究所	1	8	1.0	1.0