各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面

• 作者: 刘正义 柳锡运 沈辉 郭志球
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 各向同性腐蚀 多晶硅 酸性腐蚀
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 95-98
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1+2|TN305.2
• 字数: 3936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.023

摘要

本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度.通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀.随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正义	华南理工大学机械工程学院	91	1225	21.0	32.0
2	沈辉	中山大学物理科学与工程技术学院	121	1808	24.0	37.0
3	郭志球	华南理工大学机械工程学院	4	191	4.0	4.0
4	柳锡运	华南理工大学机械工程学院	4	65	3.0	4.0