染色腐蚀法制备多晶硅的绒面

• 作者: 卢景霄 李维强 谷锦华
• 来源期刊: 郑州大学学报(理学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 染色腐蚀 各向异性 绒面
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 1614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6841.2002.02.015

摘要

为了降低光的反射,应用染色腐蚀法制备多晶硅的绒面.对多晶硅的绒面进行了反射率和SEM形貌测量.在适当的腐蚀液中制备的3×3 cm2的多晶硅,其表面反射率在300～1 000nm波长范围为5.7%.这一结果可以和具有双层减反射膜的碱制备的多晶硅表面的反射率相比拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谷锦华	郑州大学物理工程学院	25	103	6.0	8.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院	100	570	12.0	17.0
3	李维强	郑州大学物理工程学院	9	82	4.0	9.0