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摘要:
从磷酸盐激光玻璃的成分和结构出发,分析了其化学机械抛光(CMP)机制.通过实验验证了磷酸盐激光玻璃对抛光液pH值具有较强的选择性,在微酸性和中性条件下磷酸盐激光玻璃具有较高的抛光效率,在抛光液中添加pH值调节添加剂会保持抛光环境的酸碱性从而影响抛光效率和抛光质量.通过对pH值和抛光剂浓度的控制获得了均方根(RMS)优于0.6 nm的磷酸盐激光玻璃的超光滑表面.
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文献信息
篇名 磷酸盐激光玻璃的化学机械抛光
来源期刊 中国激光 学科 工学
关键词 材料 激光玻璃 光学加工 抛光液
年,卷(期) 2007,(8) 所属期刊栏目 材料
研究方向 页码范围 1151-1154
页数 4页 分类号 TN244
字数 2481字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.08.027
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱健强 中国科学院上海光学精密机械研究所 147 1132 17.0 31.0
2 张宝安 中国科学院上海光学精密机械研究所 3 28 2.0 3.0
3 樊全堂 中国科学院上海光学精密机械研究所 5 13 1.0 3.0
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材料
激光玻璃
光学加工
抛光液
研究起点
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期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
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