液态金属离子源发射系统的仿真分析

• 作者: 刘同娟 顾文琪 马向国
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 液态金属离子源 模拟电荷法 发射系统 蒙特卡罗方法
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 370-376
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 5321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.05.003

摘要

液态金属离子源的发射系统是源设计当中一个十分重要的因素,它的性能的优劣将直接影响到整个离子源的发射特性,进而影响整个聚焦离子束设备的工作性能.因而,在离子源的设计过程中,人们希望通过仿真手段得到影响源发射特性的源几何尺寸参量,以便在液态金属离子源设计时抓住主要参量进行优化设计,从而提高源的发射性能.本文首先用模拟电荷法计算了发射系统的电场,然后用蒙特卡罗方法在模拟发射离子的初始位置和初始速度的基础上,计算了离子轨迹.并通过对大量离子轨迹的统计计算,得出能散、角电流密度和虚源尺寸的特性曲线,从而为分析离子源性能以及设计离子源提供了一个有效的辅助工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马向国		34	173	6.0	12.0
2	刘同娟		37	140	6.0	11.0
3	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0