物理法和化学法制备的单层ZrO2膜的激光损伤行为差异

• 作者: 吕海兵 徐世珍 王毕艺 田东斌 祖小涛 蒋晓东 袁晓东 郭袁俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ZrO2薄膜 激光损伤阈值 热吸收 孔隙率 损伤形貌 电子束热蒸发 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1849-1852
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2474字
• 语种: 中文

摘要

分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值.分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌.实验结果表明:两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关, 物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑,膜层的杂质和缺陷多;化学法制备的ZrO2膜结构疏松多孔,膜层纯净杂质少,激光损伤阈值达26.9 J/cm2;因物理法制备的ZrO2膜拥有更大的热吸收(115.10×10-6)和更小的孔隙率(0.20),其激光损伤阈值较小(18.8 J/cm2),损伤主要为溅射和应力破坏,而化学法制备的ZrO2膜的损伤主要为剥层.理论上对实验结果进行了解释.