尺蠖型压电直线驱动器的运动稳定性分析

• 作者: 吴博达 杨志刚 程光明 赵宏伟
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 尺蠖运动 直线运动 微纳米定位 稳定性分析 驱动电压
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 49-54
• 页数: 6页
• 分类号: TG156
• 字数: 3760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.01.011

摘要

为了深入研究尺蠖型压电驱动器的性能,分析了尺蠖型压电直线驱动器的工作原理,研究了直线动子对驱动器性能的影响.通过实验方法分析了钳位机构调整前后对钳位稳定性的影响.采用驱动器输出单步位移的步距失稳系数和驱动电压与输出位移拟合曲线斜率和截距偏差率的方法评价尺蠖型压电直线驱动器的运动稳定性.经实验测试发现驱动器的步距失稳系数与驱动电压关系密切,当驱动电压较高时,驱动器具有较好的步距稳定性.驱动器的驱动电压与输出位移拟合曲线斜率和截距偏差率分别为1.8%和9.07%,说明所开发的驱动器具有很好的运动稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	吴博达	吉林大学机械工程学院	60	830	17.0	25.0
4	赵宏伟	吉林大学机械工程学院	212	1233	19.0	27.0