谈蚀刻设备与真空蚀刻机

• 作者: 龚永林
• 来源期刊: 印制电路资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 蚀刻设备 传送 摆动与喷嘴 真空蚀刻机
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN410.57

摘要

本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚永林		29	65	5.0	7.0