中能离子注入机用静电吸盘

• 作者: 孙雪平 肖仁耀
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电吸附 六相静电吸盘 离子注入
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 1958字
• 语种: 中文

摘要

简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究.实验结果表明.静电吸持电压的频率为30 Hz时最佳,这时电压一般为0.5 kV-1 kv,所需电源的功率较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖仁耀	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	8	2.0	2.0
2	孙雪平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	3	1.0	1.0