基于XRD的薄膜界面结合强度试验研究

• 作者: 任旭东 冯爱新 孔德军 张永康 葛涛 鲁金忠
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 结合强度 X衍射法(XRD) 薄膜 残余应力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 字数: 3306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2007.01.011

摘要

利用X射线衍射技术(XRD)分析了薄膜结合界面应力及其变化规律,通过对薄膜界面结合状态的检测,建立了X衍射法测量薄膜界面结合强度的原理、方法与过程.其检测界面结合强度方法可对薄膜试样进行非接触检测,适用于晶体或多晶体薄膜的界面结合强度测量,是一种研究无损检测薄膜结合强度的试验新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁金忠	江苏大学机械工程学院	62	480	14.0	19.0
2	张永康	江苏大学机械工程学院	219	3356	29.0	43.0
3	任旭东	江苏大学机械工程学院	66	598	15.0	21.0
4	冯爱新	江苏大学机械工程学院	68	754	14.0	25.0
5	葛涛	江苏大学机械工程学院	12	185	9.0	12.0
6	孔德军	江苏大学机械工程学院	32	414	13.0	18.0