SiC衬底金刚石薄膜的制备与性能表征

• 作者: 孙方宏 胡如夫
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 SiC材料 附着力 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.04.002

摘要

用热丝CVD法,以丙酮和氢气为碳源,在SiC衬底上沉积金刚石薄膜,提出了分步变参数沉积法制备超细晶粒金刚石复合薄膜的新工艺.结果表明,合理控制工艺条件的新工艺,对金刚石薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力以及薄膜的摩擦系数有显著影响,金刚石薄膜的平均晶粒尺寸从3 μm减小到0.3 μm,拉曼特征峰显示超细晶粒金刚石薄膜特征,涂层附着力好,超细晶粒金刚石薄膜的表面粗糙度和摩擦系数值显著下降,对获取实用化的SiC在基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	胡如夫	宁波工程学院交通学院	48	279	7.0	14.0