静电致动圆形微泵膜片的变形计算

• 作者: 王洪喜 赵剑 陈光焱
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电力 微泵 膜片
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TP271.4
• 字数: 1528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.01.014

摘要

针对静电驱动微泵(micropump)多能量域系统仿真中存在计算量大的问题,基于弹性力学小挠度变形理论和微机电系统中的静电驱动理论,建立了静电力驱动下圆形微泵膜片(membrane)的变形曲面方程,采用伽辽金加权残值法得到膜片变形和泵腔容积变化的半解析式,结果显示膜片的变形和泵的容积变化与驱动电压的平方成正比.采用本文公式建立微泵系统宏模型(macromodel)或集中参数模型,有助于提高微泵系统仿真的计算效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王洪喜	西安工业大学机电工程学院	16	136	7.0	11.0
3	赵剑	西安电子科技大学微电子学院	12	94	6.0	9.0
4	陈光焱	中国工程物理研究院电子工程研究所	23	219	10.0	13.0