超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响

• 作者: 刘丹敏 刘敏 周美玲 张迎肖 索红莉 赵跃
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 涂层超导 YBCO薄膜 织构Ag基底 超声雾化热分解方法
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 377-380
• 页数: 4页
• 分类号: TM26
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.02.038

摘要

用自行研制的超声雾化装置在{110}＜011＞织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致.于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案,即700℃先沉积15min,再升温到900℃沉积30min,通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知,两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低,而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高,最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A/cm2的YBCO超导薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丹敏	北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室	50	272	8.0	14.0
2	周美玲	北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室	130	2123	22.0	42.0
3	索红莉	北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室	58	156	8.0	10.0
4	刘敏	北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室	59	238	8.0	13.0
5	赵跃	北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室	13	48	3.0	6.0
6	张迎肖	北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室	1	5	1.0	1.0