结合ELID磨削与磁流变光整加工的单晶硅反射镜超精密制造技术

• 作者: 上原嘉宏 大森整 尹韶辉 张导成 林伟民 陈逢军
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅反射镜 在线电解修整 磁流变光整加工 形状精度 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 220-223
• 页数: 4页
• 分类号: TG58
• 字数: 2138字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.03.013

摘要

分析了在线电解修整(ELID)磨削和磁流变光整加工(MRF)的加工原理与特点,充分结合这2种技术的优点对单晶硅反射镜进行纳米级精度的组合加工.首先进行ELID高效率磨削,在线检测工件表面误差后进行补偿磨削,使反射镜面加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量.然后,利用磁流变技术进行确定性的光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,使加工表面的形状精度与表面粗糙度得到很大提高与改善.利用该组合工艺,对硅反射镜进行了系列的加工实验,高效率地得到了低于1 nm RMS的表面粗糙度和69 nm P-V形状精度的工件表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈逢军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	43	418	10.0	18.0
2	尹韶辉	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	66	540	12.0	20.0
3	张导成	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	1	9	1.0	1.0