基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量

• 作者: 王建林 金翠云 靳世久
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 动态分析仪 MEMS谐振器 动态特性 频闪成像 光流
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 90-95
• 页数: 6页
• 分类号: TP752.2
• 字数: 3862字
• 语种: 中文

摘要

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪.其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内所需相位的清晰运动图像,结合光流技术对MEMS谐振器的运动序列图像做二维运动估计,从而得到其动态特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考.具有非接触性、测量精度高的特点.实验结果表明,该系统的测量重复性达7.1nm,能够很好地描述微谐振器的动态特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金翠云	北京化工大学信息科学与技术学院	20	188	7.0	13.0
2	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
3	王建林	北京化工大学信息科学与技术学院	107	1185	19.0	31.0