溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电性能研究

• 作者: 于忠玺 张江 曲荣君 陈健 高善民
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺锡氧化铟薄膜 光学性能 方块电阻
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 241-245
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.05.005

摘要

采用溶胶-凝胶旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片上制备了掺锡氧化铟(ITO)纳米透明导电薄膜.采用紫外-可见透射光谱和四探针技术,研究了不同Sn掺杂量、不同热处理温度和热处理时间以及不同涂层对薄膜光学和电学性能的影响.结果表明薄膜的方块电阻随Sn掺杂量的增大和热处理温度的升高先降低后增加,在适宜的温度范围内薄膜在可见光区平均透过率随热处理温度升高而增加.在一定的温度下,随着热处理时间的延长,ITO薄膜的方块电阻先降低后增加,透射率先增加后降低.在最佳工艺条件下,采用溶胶-凝胶法制备的ITO薄膜平均可见光透过率达86%,薄膜方阻为322 Ω/□.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲荣君	鲁东大学化学与材料科学学院	52	261	10.0	13.0
2	张江	鲁东大学化学与材料科学学院	23	162	6.0	12.0
3	陈健	鲁东大学化学与材料科学学院	4	36	4.0	4.0
4	高善民	鲁东大学化学与材料科学学院	24	239	7.0	15.0
5	于忠玺	鲁东大学化学与材料科学学院	11	63	5.0	7.0