光针扫描法检测光滑表面粗糙度

• 作者: 张锡芳 王丽会 王政平
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 表面粗糙度 光针扫描 琼斯矩阵
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 光电检测
• 页码范围: 38-41,55
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2007.06.012

摘要

提出了一种用于光滑表面粗糙度测量的方法,利用两个标准参考面和两个偏振片实现对表面粗糙度的测量,通过两1/4波片克服光路可逆性的缺陷,给出了测量系统光路图,导出了该方法工作原理的数学表达式,并对该方法产生的测量不确定度进行了理论计算与计算机仿真,最后通过对一标准粗糙度样块进行测量,证明了该方案的可行性.结果表明实测值与样块厂家提供的标称值相符,并可实现0.2 nm的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王政平	哈尔滨工程大学理学院	92	841	16.0	24.0
2	王丽会	哈尔滨工程大学理学院	4	23	3.0	4.0
3	张锡芳	哈尔滨工程大学理学院	4	59	3.0	4.0