纳米光学金刚石薄膜的分析与改进

• 作者: 刘建民 夏义本 徐金勇 王林军 祝雪丰 胡广 黄健
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚石 光学性质 表面粗糙度 偏压增强成核-热丝辅助化学气相沉积法
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 548-552
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.010

摘要

由于极其优良的热学和光学性能,纳米金刚石薄膜极有可能应用于背投电视的激光光学窗口.文章通过在热丝辅助化学气相沉积法中采用偏压增强成核(BEN-HFCVD),成功地在(100)硅衬底上制得了适于作为光学窗口的高质量的光学级纳米金刚石薄膜,采用的偏压为-30 V.通过表征制备的纳米金刚石薄膜,发现它具有光滑的表面,表面均方根粗糙度(RMS)约为10 nm,并且对自支撑纳米金刚石薄膜进行透射光谱分析得到其透射率达到了50 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
3	胡广	上海大学材料科学与工程学院	5	4	1.0	1.0
4	祝雪丰	上海大学材料科学与工程学院	5	4	1.0	1.0
5	刘建民	上海大学材料科学与工程学院	6	89	4.0	6.0
6	黄健	上海大学材料科学与工程学院	17	28	3.0	4.0
7	徐金勇	上海大学材料科学与工程学院	3	2	1.0	1.0