静电型微继电器的设计与研究

• 作者: 何晓雄 李洋 矫妹 许高斌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电型 微继电器 驱动电压 驱动模型
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 405-412
• 页数: 8页
• 分类号: TM581.1|TN304
• 字数: 5311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.05.010

摘要

静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力.在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数.对静电型继电器触点的材料选取及其性能进行比较分析.分析了静电型继电器实用化存在的主要技术难题和进一步研究可能的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李洋	合肥工业大学理学院	24	123	6.0	10.0
2	何晓雄	合肥工业大学理学院	65	317	10.0	13.0
3	许高斌	合肥工业大学理学院	22	140	7.0	11.0
4	矫妹	合肥工业大学理学院	2	4	2.0	2.0