硬质合金上沉积金刚石膜的基体预处理方法进展

• 作者: 匡同春 向雄志 尹诗衡 成晓玲 曾小平 朱红梅 王雄华 雷淑梅
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质合金 CVD金刚石膜 预处理 形核密度 结合力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 78-82
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 5572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.01.021

摘要

本文重点对近年硬质合金基体表面预处理方法及其对 CVD 金刚石膜沉积的影响进行了综述.按其原理来分,预处理方法可分为物理预处理法、化学预处理法以及中间层法.大量实验结果表明通过适当的预处理能有效消除或抑制基体中钴黏结相的负面影响,提高金刚石的形核密度以及膜基结合力,从而获得理想的薄膜质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹诗衡	华南理工大学分析测试中心	36	250	10.0	14.0
2	匡同春	华南理工大学分析测试中心	30	336	9.0	17.0
3	成晓玲	广东工业大学材料与能源学院	84	1166	15.0	32.0
4	雷淑梅	华南理工大学分析测试中心	15	115	6.0	10.0
5	曾小平	华南理工大学分析测试中心	19	237	8.0	15.0
6	王雄华	广东工业大学材料与能源学院	2	26	2.0	2.0
7	朱红梅	广东工业大学材料与能源学院	4	29	2.0	4.0
8	向雄志	广东工业大学材料与能源学院	12	243	7.0	12.0