用热丝法在硬质合金基体上沉积金刚石膜的研究

• 作者: 余志明 刘沙 易丹青
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 硬质合金 物理性能
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 187-190
• 页数: 4页
• 分类号: TG135.5
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2002.05.002

摘要

用XRD,SEM和Raman光谱仪、洛氏硬度计等分析检测手段,研究了经表面两步法侵蚀后,YG15硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、显微组织、化学纯度及粘结性能等.结果表明,硬质合金基体表面一定深度范围内钴含量的变化,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态、化学纯度及粘结性能等有很大影响.①在基体表面深度约为5μm范围内,当钴含量为0.81%时,金刚石薄膜具有明显的{111}面取向,其金刚石纯度较高;而当钴含量为1.05%时,具有{110}和{111}面的混合取向,其金刚石纯度较低,且其薄膜具有较高的内应力.②当CVD沉积温度为800℃时,金刚石薄膜的晶粒度约为1～3μm.③与多边形金刚石薄膜相比,菱形金刚石薄膜与硬质合金基体具有较高的粘结性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易丹青	中南大学材料科学与工程系	276	3068	28.0	37.0
2	刘沙	中南大学材料科学与工程系	29	239	11.0	14.0
3	余志明	中南大学材料科学与工程系	80	689	15.0	21.0