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单晶硅晶圆晶向的精确标定方法
微机电系统
体硅工艺
晶向
抗战时期的宝鸡近代工业
抗战时期
宝鸡近代工业
工业发展
晶圆表面缺陷在线检测研究
集成电路制造
晶圆表面缺陷检测
表面特征
主成分分析
贝叶斯概率模型
现代工业工程在制造业中的应用
现代工业
制造业
应用
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 2006全球晶圆代工业回顾
来源期刊 电子工业专用设备 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(3) 所属期刊栏目 行业快讯
研究方向 页码范围 14-15
页数 2页 分类号
字数 2325字 语种 中文
DOI
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期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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31
总被引数(次)
10002
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