退火温度对纳米TiO2薄膜的乙醇气敏特性的影响

• 作者: 何平 孙以材 潘国峰 高金雍
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2薄膜 退火温度 乙醇气敏特性 灵敏度
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 965-968
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2007.06.039

摘要

采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si(111)基片上制备纳米TiO2薄膜.首先将样品置于马孚炉中,分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理,然后利用XRD测定各退火条件下TiO2薄膜的晶粒尺寸和晶型,并对样品的气体敏感特性进行测试.实验结果表明:薄膜的结构、晶粒尺寸、晶相和气敏特性随着退火温度的不同而变化,经过500℃×3小时退火后的TiO2薄膜(锐钛矿相)对乙醇蒸汽的灵敏度最高,响应(恢复)时间为2-3s,并具有很好的选择性,其最佳工作温度为280℃左右.最后讨论了薄膜的乙醇气敏机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学信息工程学院	117	1247	18.0	31.0
2	潘国峰	河北工业大学信息工程学院	70	462	10.0	18.0
3	何平	河北工业大学信息工程学院	21	216	7.0	14.0
4	高金雍	河北工业大学信息工程学院	25	83	5.0	6.0