电子束蒸发制备的TiO2纳米柱的乙醇气敏性能研究

• 作者: 王强 杜宗泽 虞建辉 郭凌 陈龙泉 电子科技大学物理学院界面物理实验室
• 来源期刊: 科技与创新
• 学科: 其他
• 关键词: TiO2纳米柱材料 乙醇传感器 电子束蒸发 掠射角沉积
• 年，卷（期）: 2024,（6）
• 页码范围: 20-23,30
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2024.06.005

摘要

通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料，经过退火处理后，对2种结构的材料进行了针对乙醇的气敏测试。通过X-射线衍射仪（X-Ray Diffraction,XRD）及扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope,SEM）对材料进行表征。SEM结果显示，二氧化钛纳米薄膜表面呈现出平整致密的结构，而纳米柱材料表面呈现出疏松多孔的结构。XRD结果表明，经退火处理后2种材料均为单晶结构，呈现为锐钛矿相。二氧化钛纳米薄膜工作温度在200℃以上时效果较好，纳米柱材料需要在300℃左右才能具有最佳响应。纳米柱在最佳工作温度下对于体积分数为0.03%的乙醇气体响应度高达36.1，相比于纳米薄膜材料性能提升约200%。