离子束辅助反应电子束蒸发TiO2薄膜的结构和光学性能

• 作者: 李创 杨陈 樊慧庆 陈晋
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 电子束蒸发 薄膜结构 光学性质
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3120字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.004

摘要

TiO2具有较高的折射率和介电常数,在光学和电子学方面有着广泛的应用.本论文采用离子束辅助反应电子束真空蒸镀法,以Ti为膜料,纯度为99.99%的02为反应气体,通过电子束蒸发,在玻璃衬底上反应生成TiO2薄膜.使用XRD、SEM分别对50℃、150℃、300℃三个不同衬底温度下沉积的薄膜及其经过450℃真空退火1h后的结构进行了分析,对薄膜的折射率、透射率进行了测量.结果表明,与传统的电子束蒸发相比,离子束辅助电子束蒸发可以增加成膜原子的能量,使沉积的薄膜结构致密,所制备的薄膜具有较高的折射率,并且薄膜在可见光范围内具有良好的透过性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨陈	西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所	7	29	4.0	5.0
2	樊慧庆	西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所	47	239	10.0	13.0
3	李创	西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所	3	16	2.0	3.0
4	陈晋	西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所	4	26	3.0	4.0